Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем

Переходите ---> СЮДА для заказа

Все книги, учебники, игры, игрушки, канцтовары и многое другое по выгодным ценам.-> ЗДЕСЬ в Лабиринте

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».

ISBN — 978-5-8114-5788-5
Author (автор) — Родионов Юрий Анатольевич
Sales_notes (оплата) — Наличные, б/н, visa, qiwi, webmoney, я.деньги
Vendor (издатель) — Лань
Name (название) — Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем